シリコンウェハー (Silicon Wafer)
研究・開発用として1枚からお求めいただけるシリコンウェハーです。
装置の条件出し、ダイサーやBGのプリカット、搬送テストなどの用途に使用可能です。
モニターウエハーはもちろんのこと、規格品以外にも各種サイズ、各種厚み、パーティクルウエハー対応致します。
装置の条件出し、ダイサーやBGのプリカット、搬送テストなどの用途に使用可能です。
モニターウエハーはもちろんのこと、規格品以外にも各種サイズ、各種厚み、パーティクルウエハー対応致します。
価格(税別)
サイズ | 1枚 | 25枚セット | |
76mm | 3インチ | ¥5,800 | ¥145,000のところ特別価格 ¥137,000 |
100mm | 4インチ | ¥5,800 | ¥145,000のところ特別価格 ¥137,000 |
125mm | 5インチ | ¥5,800 | ¥145,000のところ特別価格 ¥137,000 |
150mm | 6インチ | ¥5,800 | ¥145,000のところ特別価格 ¥137,000 |
200mm | 8インチ | お問い合わせ下さい | お問い合わせ下さい |
仕様
76mm | 100mm | 125mm | 150mm | 200mm | |
---|---|---|---|---|---|
直径許容差(mm) | ±0.5 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
ウェーハ厚さ(μm) | 380 | 525 | 625 | 625 | 725 |
厚さ許容差(μm) | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
厚さむら最大(μm) | 25 | 10 | 10 | 10 | 10 |
導電型 | P型 | P型 | P型 | P型 | P型 |
オリフラ | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° |
規格品以外にも、P型/N型・オリフラ/Vノッチ・結晶方位などご指定いただけましたら、ご要望に応じて対応致します。
各種膜ウエハーも小ロットから対応いたします。
その他 各種材質の基板も取り扱っております。
- ガラス基板
- サファイアウェハー
- SiCウェハー
- 石英・水晶など
その他、TEG(Test Element Group)チップの制作も承っておりますので、まずは一度お問い合わせください。