エッチングチャンバー (2槽タイプ)
半導体製造過程における、エッチング工程・洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。
2槽タイプですので、用途にあわせて便利にご使用いただけます。
2槽タイプですので、用途にあわせて便利にご使用いただけます。
価格(税別)
PVCスタンダードタイプ
| 型式 | 品番 | サイズ(mm) | 質量(約kg) | 価格 |
|---|---|---|---|---|
| PS-1200Ⅱ | 3-5861-01 | 1200×820×2150 | 171 | ￥1,380,000 |
| PS-1500Ⅱ | 3-5861-02 | 1500×820×2150 |
197 |
￥1,550,000 |
| PS-1800Ⅱ | 3-5861-03 | 1800×820×2150 | 238 | ￥1,730,000 |
| PS-2400Ⅱ | 3-5861-04 | 2400×820×2150 | 315 | ￥2,640,000 |
PVCディープタイプ
| 型式 | 品番 | サイズ(mm) | 質量(約kg) | 価格 |
|---|---|---|---|---|
| PD-1200Ⅱ | 3-5861-05 | 1200×970×2150 | 201 | ￥1,550,000 |
| PD-1500Ⅱ | 3-5861-06 | 1500×970×2150 | 222 | ￥1,780,000 |
| PD-1800Ⅱ | 3-5861-07 | 1800×970×2150 | 268 | ￥1,980,000 |
| PD-2400Ⅱ | 3-5861-08 | 2400×970×2150 | 355 | ￥3,000,000 |
特長
- 半導体製造過程における、エッチング工程・洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。
- 耐酸性・耐アルカリ性に優れた硬質PVC製ですので、酸処理や他の化学薬品を使った作業に便利にご使用いただけます。
- チャンバー内部の背面にはバッフル板を採用しておりますので比重の重いガスも確実に排気する事ができます。
- グースネック型の給水栓はチャンバーの前面のハンドルによるリモート操作方式です。
共通仕様
| 本体材質(外装) | 硬質PVC(塩化ビニル樹脂) |
|---|---|
| 本体材質(内装) | 硬質PVC(塩化ビニル樹脂) |
| 窓 | 硬質PVC(塩化ビニル樹脂) |
| 給水栓 | グースネック型純水用自在水栓 |
| コンセント | AC100V-15Aダブル×1個付き |
| 照明 | 蛍光灯使用、スイッチ付き |
運送・搬入・組立及び設置・ダクト接続工事について
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