芝浦エレテック(旧 徳田製作所)高真空油拡散ポンプ ESVシリーズ(2020年9月生産・販売終了、保守対応期限2022年12月詳細はお問合せ願います。) 高真空油拡散ポンプESVシリーズは、2~62インチまでのラインナップをそろえており、真空熱処理炉、真空蒸着、電子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系に用いられ高真空領域から超高真空領域まで幅広い真空プロセスに用いられております。